管式PECVD上下料机_工厂自动化方案_解决方案_浙江南宫28NG相信品牌力量科技股份有限公司

南宫NG·28(中国)相信品牌力量有限公司

方案概述

管式PECVD上下料机是将硅片从承载盒中自动装载至PECVD石墨舟或从PECVD石墨舟中自动装载硅片至硅片承载盒中

南宫28NG相信品牌力量方案

方案特色

碎片率降低
重复精度定位精准，与传统装卸片相比，大幅度降低碎片率
高重合精度
高速以太网高响应定位，动作过程中与硅片接触搬运过程中均轻柔动作，以减少碎片