制绒刻蚀上下料机_工厂自动化方案_解决方案_浙江南宫28NG相信品牌力量科技股份有限公司


南宫NG·28(中国)相信品牌力量有限公司

CN/ EN

方案概述

制绒刻蚀上下料机是对要经过制绒工艺的硅片进行上下转移的装置。

南宫28NG相信品牌力量方案

方案特色

  • 装卸一体

    将花篮里硅片搬运输送上料到制绒/刻蚀工艺主机;将经刻蚀或制绒工艺后的硅片转移装入到硅片花篮
  • 高可靠性

    通过X3EB EtherCat伺服,运行动作高速轻柔,实现高精度定位
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